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全型番で同じ値の指標

発振周波数

40.68MHz±0.05%

最大定格出力

200W

出力インピーダンス

50Ω

出力コネクター

N型

出力ケーブル

8D-2V

出力電力安定度

電源電圧変動が±10%の時、最大出力の) ±1%以内 (但し、周囲温度25℃、ダミーロード使用時)

耐反射電力

40W

高調波歪

-40dB以下 (最大出力時)

出力リップル

1%以下 (最大出力時)

所要電力AC200V, 50/60Hz

1φ、700VA

冷却方式

空冷

冷却水温度/圧力/水質

10~30 ℃、0.5MPa以下、3~5 KΩ-cm

周囲環境温度/湿度

10~30 ℃、30~80% 但し結露のないこと

電源保護機能

サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッター、反射リミッター

操作方式 (操作部別パネル)

ローカル及びリモート操作

電源本体寸法 (mm) 幅

480

電源本体寸法 (mm) 奥行

450

電源本体寸法 (mm) 高さ

150

電源本体質量 (kg)

約20

この製品について

半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。

  • 型番

    HFS-40-002

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高周波電源オート・マッチングボックス他 VHF帯 (40.68MHz) 高周波電源 HFS-40-002の性能表

商品画像 価格 (税抜) 発振周波数 最大定格出力 出力インピーダンス 出力コネクター 出力ケーブル 出力電力安定度 耐反射電力 高調波歪 出力リップル 所要電力AC200V, 50/60Hz 冷却方式 冷却水温度/圧力/水質 周囲環境温度/湿度 電源保護機能 操作方式 (操作部別パネル) 電源本体寸法 (mm) 幅 電源本体寸法 (mm) 奥行 電源本体寸法 (mm) 高さ 電源本体質量 (kg)
要見積もり 40.68MHz±0.05% 200W 50Ω N型 8D-2V 電源電圧変動が±10%の時、最大出力の) ±1%以内 (但し、周囲温度25℃、ダミーロード使用時) 40W -40dB以下 (最大出力時) 1%以下 (最大出力時) 1φ、700VA 空冷 10~30 ℃、0.5MPa以下、3~5 KΩ-cm 10~30 ℃、30~80% 但し結露のないこと サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッター、反射リミッター ローカル及びリモート操作 480 450 150 約20

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定格出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000

発振周波数 MHz

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

出力電力定格 W

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000

冷却方式

空冷 水冷

出力安定度 %

1 2

使用環境 ℃

0 - 10 10 - 30 30 - 40

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会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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