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高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源-日本高周波株式会社

全型番で同じ値の指標

発振周波数

13.56MHz ±0.05%

最大定格出力

50W

出力インピーダンス

50Ω

出力コネクタ/ケーブル

BNC

出力電力安定度

電源電圧の±1 0 %変動に対して最大パワーの±1 %以内 (但し周囲温度2 5℃、ダミーロード使用時)

耐反射電力

50W

高調波

基本波に対して-30dB以下

出力リップル

1%以下

所要電力50/60H z

AC100V 1φ, 120VA

冷却方式

強制空冷

周囲環境温度/湿度

10~30℃/30~80% 但し結露なきこと

電源保護機能

サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射 (Pr) リミッタ、温度検出

電源本体寸法 幅

240mm

電源本体寸法 奥行

400mm

電源本体寸法 高さ

99mm

質量 (電源本体のみ)

約5kg

この製品について

半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。

  • 型番

    HFS-013-0005C

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高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源 HFS-013-0005Cの性能表

商品画像 価格 (税抜) 発振周波数 最大定格出力 出力インピーダンス 出力コネクタ/ケーブル 出力電力安定度 耐反射電力 高調波 出力リップル 所要電力50/60H z 冷却方式 周囲環境温度/湿度 電源保護機能 電源本体寸法 幅 電源本体寸法 奥行 電源本体寸法 高さ 質量 (電源本体のみ)
高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源-品番-HFS-013-0005C 要見積もり 13.56MHz ±0.05% 50W 50Ω BNC 電源電圧の±1 0 %変動に対して最大パワーの±1 %以内 (但し周囲温度2 5℃、ダミーロード使用時) 50W 基本波に対して-30dB以下 1%以下 AC100V
1φ, 120VA
強制空冷 10~30℃/30~80% 但し結露なきこと サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射 (Pr) リミッタ、温度検出 240mm 400mm 99mm 約5kg

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定格出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000

発振周波数 MHz

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

出力電力定格 W

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000

冷却方式

空冷 水冷

出力安定度 %

1 2

使用環境 ℃

0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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