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高周波電源オート・マッチングボックス他 MF帯 (400KHz, 800kHz, 2MHz) 高周波電源-日本高周波株式会社

全型番で同じ値の指標

発振周波数

400kHz±0.05%

最大定格出力

1kW

出力インピーダンス

50Ω

出力コネクター

N型

出力ケーブル

8D-2V

出力電力安定度

電源電圧変動が±10%の時、最大出力の±1%以内 (但し、周囲温度25℃、ダミーロード使用時

耐反射電力

200W

高調波歪

-40dB以下 (最大出力時)

出力リップル

1%以下 (最大出力時)

所要電力 AC200V 50/60Hz

3φ/3kVA

冷却方式

水冷

所要冷却水量

4L/min以上

冷却水 温度/ 圧力/ 水質

10~30℃、0.5MPa以下、3~5kΩ-cm

周囲環境温度/湿度

10~30℃、30~80% 但し結露しないこと

電源保護機能

サーキットプロテクタ、過電圧・渦電流リミッター、反射リミッター

操作方式 (操作部別パネル)

ローカル及びリモート操作

電源本体寸法 (mm) 幅

480

電源本体寸法 (mm) 奥行

450

電源本体寸法 (mm) 高さ

200

電源本体質量

約30kg

この製品について

半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。

  • 型番

    HFS-04-010W

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高周波電源オート・マッチングボックス他 MF帯 (400KHz, 800kHz, 2MHz) 高周波電源 HFS-04-010Wの性能表

商品画像 価格 (税抜) 発振周波数 最大定格出力 出力インピーダンス 出力コネクター 出力ケーブル 出力電力安定度 耐反射電力 高調波歪 出力リップル 所要電力 AC200V 50/60Hz 冷却方式 所要冷却水量 冷却水 温度/ 圧力/ 水質 周囲環境温度/湿度 電源保護機能 操作方式 (操作部別パネル) 電源本体寸法 (mm) 幅 電源本体寸法 (mm) 奥行 電源本体寸法 (mm) 高さ 電源本体質量
高周波電源オート・マッチングボックス他 MF帯 (400KHz, 800kHz, 2MHz) 高周波電源-品番-HFS-04-010W 要見積もり 400kHz±0.05% 1kW 50Ω N型 8D-2V 電源電圧変動が±10%の時、最大出力の±1%以内 (但し、周囲温度25℃、ダミーロード使用時 200W -40dB以下 (最大出力時) 1%以下 (最大出力時) 3φ/3kVA 水冷 4L/min以上 10~30℃、0.5MPa以下、3~5kΩ-cm 10~30℃、30~80% 但し結露しないこと サーキットプロテクタ、過電圧・渦電流リミッター、反射リミッター ローカル及びリモート操作 480 450 200 約30kg

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定格出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000

発振周波数 MHz

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

出力電力定格 W

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000

冷却方式

空冷 水冷

出力安定度 %

1 2

使用環境 ℃

0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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