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倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ-プレサイスゲージ株式会社

プレサイスゲージ株式会社の対応状況 返信の比較的早い企業

返答率

100.0%

返答時間

20.9時間

全型番で同じ値の指標

ステージ面

150mm×150mm

走査軸

X軸、Y軸

ストローク

±25mm

モーター

5相ステッピングモーター

ステージ

クロスローラーガイド、ボールネジ

ステージ送り分解能

0.001μm

測定スケール分解能

0.005μm

速度

高速走査:2.5mm/sec 高分解能時:0.5mm/sec

移動方向

上下左右、斜め方向

OS

Windows10

外部制御

ジョイスティックによる走査 (オプション)

この製品について

分解能5nmというかつてないSpec。他のソフトとの連携も可能。

■概要

PGXYSTG-αは小型で高精度高分解能なXYステージです。精密スケールを搭載することで、5nmという驚異的な分解能を実現したうえ、移動スピードにおいても長年培った独自の移動制御により、さくさくっと動く高速移動を実現しています。

■用途

・顕微鏡での観察 (X位置、Y位置) ・デバイスの繰り返し測定など

  • 型番

    自動XYステージ

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倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ 自動XYステージの性能表

商品画像 価格 (税抜) ステージ面 走査軸 ストローク モーター ステージ ステージ送り分解能 測定スケール分解能 速度 移動方向 OS 外部制御
倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ-品番-自動XYステージ 要見積もり 150mm×150mm X軸、Y軸 ±25mm 5相ステッピングモーター クロスローラーガイド、ボールネジ 0.001μm 0.005μm 高速走査:2.5mm/sec
高分解能時:0.5mm/sec
上下左右、斜め方向 Windows10 ジョイスティックによる走査 (オプション)

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使用用途

#精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験

移動範囲 mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

位置決め精度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10

双方向再現性 µm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5

真直度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300

平坦度 µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100

耐荷重 N

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100

センサー解像度 nm

0 - 1 1 - 10 10 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 静岡県

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