■高周波振動分布を可視化今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。無線通信分野ではこのMEMS技術を用いて、高周波領域で使用可能なデバイスの開発が進んでいます。

サニャック干渉計振動観察装置では、GHz帯の高周波用デバイス (圧電薄膜、SAWフィルタ、FBAR等) の振動分布を可視化することができます。

■観察周波数は6GHzまで対応。高周波プロービング応相談。5Gデバイスの振動観察に向けて6GHzまでの振動観察に対応しています。また、高周波プローブの搭載にも対応し、ウェハレベルでのデバイス駆動・振動観察が可能になりました。

一つの装置でSAWフィルタ・BAWフィルタ等、様々なデバイスの振動分布の解析に活用できます。

■レーザ走査による高速データ収集データ収集はプローブレーザが移動することによる走査方式を採用しています。X軸方向のデータ収集間隔を最小0.1µmに設定してもデータ収集速度は変わりません。Y軸方向のデータ収集間隔も最小0.1µmに設定可能です。

■多彩な機能を盛り込んだ専用観察ソフトウェア本装置専用に製作された専用観察ソフトウェアは顕微鏡操作上に必要となる基本制御機能はもちろん、試料傾き補正や焦点補正機能など多用な機能が盛り込まれています。試料上の弾性波を駆動するための信号発生器やロックインアンプの感度設定などもソフトウェア上で操作可能です。

異なる駆動周波数のそれぞれのデータを連続で測定するための周波数テーブル設定機能も実装されています。

■フォーカス補正機能 (Auto Focus) 長時間のデータ収集における温度変化等での焦点ずれに対し、任意のY方向ライン数のデータ収集ごとにフォーカス補正を行う機能を搭載。

あらかじめ観察範囲の四方とフォーカス補正用ポイントのXYZ座標を設定します。そしてデータ収集時にはフォーカス補正用ポイントでの焦点ずれ量を検出し、その焦点ずれ量を加算することで焦点方向の補正を行います。

型番
MLD-101C

シリーズ
振動測定装置速度センササニャック干渉計振動観察装置

取扱企業
ネオアーク株式会社

カテゴリ

測定機器

干渉計

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年2月20日にレビュー済み

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対応がとても丁寧です。返信も早く、商品説明もこちらの質問に対し要所簡潔でとても分かり易かった。この対応だけで購入決めたいぐらいでした。

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振動測定装置速度センササニャック干渉計振動観察装置 MLD-101Cの性能表

商品画像	価格 (税抜)	対応サンプル	観察周波数	振動検出方法	観察方法	光源・観察軸	付属対物レンズ倍率	マッピング (電動制御)	フォーカス (電動制御)	データ記録形式	装置構成	ユーティリティ	本体外寸 (重量)	ラック外寸 (重量)
	要見積もり	SMAコネクタ付きデバイス	500MHz~3GHz (タイプA) 3GHz~6GHz (タイプB)	サニャック干渉計による振幅・位相検出	ステージ制御によるレーザ照射位置走査観察	半導体レーザ (観察軸: 面外方向 *面外振動検出)	×100 (W.D.12mm、スポット径1μm typ.) 、 ×50 (W.D. 3.4mm、スポット径5μm typ.) *×5 (観察位置確認用)	マッピング位置分解能: 0.1µm、最大マッピング (観察) 範囲: 25×25mm	フォーカス位置分解能: 0.2μm、フォーカスレンジ: ±15mm	画像：JPEG、動画：AVI、振幅・位相情報：CSV	本体 (光学系・ステージ) レーザ電源ステージドライバ周波数変換ユニットロックインアンプ信号発生器 (2ch) PC、ディスプレイ観察ソフトウェア	AC100V、消費電力 1.7kVA以下	600 (W) ×600 (D) ×1350 (H) mm (約270kg)	600 (W) ×630 (D) ×1,600 (H) mm (約40kg)