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乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-アルバック販売株式会社

AMF-1000 | 乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500
アルバック販売株式会社

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到達圧力

7×10-6Pa

排気系

クライオポンプ、TMP+RP選択可能

加熱範囲

1,000mm×1,000mm×40H×10枚

基板加熱温度

MAX450℃

温度分布

450℃±10℃

加熱方式

内熱方式

この製品について

■概要

アルバックの真空乾燥炉は、HVからUHVの圧力領域でクリーンな環境下での脱ガス、前処理用途や、部品表面に付着した物質を真空アニールにて清浄化させる再生処理用途に適応した装置です。

■用途

・真空部品再生処理用 ・カラーフィルター前処理、小型パネルアニール用 ・SEM用部品UHV脱ガス用 ・半導体用部品洗浄後脱ガス用

■特長

・横扉方式を採用し、メンテナンス性を重視した設計 ・1m×1mパネルサイズ10枚を同時に熱処理可能 ・再生時に放出されるガスを除去するためのトラップを装備 ・昇温、冷却時の温度分布を大面積で均一に制御可能 ・標準装置で10-6Paの到達圧力、さらに10-7PaのUHV仕様のアニール炉を提供します。

  • 型番

    AMF-1000

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2025年8月7日にレビュー済み

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乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500 AMF-1000の性能表

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乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-品番-AMF-1000 要見積もり 7×10-6Pa クライオポンプ、TMP+RP選択可能 1,000mm×1,000mm×40H×10枚 MAX450℃ 450℃±10℃ 内熱方式

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使用用途

#医薬品製造 #化学品乾燥 #食品加工 #電子部品製造 #材料研究 #金属粉末処理 #セラミックス処理 #半導体製造

加熱方式

棚段加熱型 ジャケット加熱型 赤外線加熱型 内熱方式 ホットエアージャケット方式

乾燥構造

バッチ式 トレイ式

真空到達度

高真空型 低真空型

処理対象形状

粉体用 液体用 固形物用

温度範囲 ℃

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 800

真空度 Pa

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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