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FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ-株式会社ワイ・ドライブ

微小欠陥検査レーザ走査イメージャ | FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
株式会社ワイ・ドライブ

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計測時間

1μm分解能 約35秒、5μm分解能 約10

計測幅

0.8μm 深さ：5nm

この製品について

■超広視野共焦点型・高分解能1μm微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる。 ・最大45度傾斜で、形状測定が可。 ・キズや深い穴の欠陥も検出可。

■レーザ走査イメージャの特徴

・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した新しい観察装置 (照明装置がいらない) ・広い観察領域 (顕微鏡の100倍以上) と長いWDを持つ新開発専用走査レンス・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット ・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式 (長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載) ・概略仕様：走査分解能が高い (1走査最大20,000点) 走査スピード4,000ライン/秒、レーザはLD405nmを使用 (650、830nmもあり) ・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です

■レーザ走査イメージャの用途

・透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出 ・セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出 ・蒸着膜の剥離などの観察 ・小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得 ・微小な面の反りの精密計測 ・大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察

  • 型番

    微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

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商品画像 価格 (税抜) 計測時間 計測幅
FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ-品番-微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 要見積もり 1μm分解能 約35秒、5μm分解能 約10 0.8μm
深さ：5nm

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最小検出サイズ mm

0 - 2 2 - 3

対象口径 mm

1 - 10 10 - 30 30 - 60 60 - 100 100 - 200

有効測定長 mm

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