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返答率
100.0%
返答時間
27.3時間
X軸移動量
157.5 ±5 (mm)
Y軸移動量
157.5 ±5 (mm)
許容リーク量
≦1.33×10^-11 (Pa・m3/sec)
許容加熱温度
≦200 (℃)
有効内径
φ17 (mm)
移動精度
0.01 (mm)
位置決め目盛
0.01 (mm)
接続フランジサイズ
ICF-34FT
駆動方式
ベローズ方式 (SUS316)
型番
KXY-34取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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2軸ステージの製品234点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | X軸移動量 | Y軸移動量 | 許容リーク量 | 許容加熱温度 | 有効内径 | 移動精度 | 位置決め目盛 | 接続フランジサイズ | 駆動方式 |
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要見積もり | 157.5 ±5 (mm) | 157.5 ±5 (mm) | ≦1.33×10^-11 (Pa・m3/sec) | ≦200 (℃) | φ17 (mm) | 0.01 (mm) | 0.01 (mm) | ICF-34FT | ベローズ方式 (SUS316) |
2軸ステージの中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途が位置決め制御の製品
2軸ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体検査 #精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #微細組立 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験移動範囲 mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800位置決め精度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10双方向再現性 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5真直度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300平坦度 µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100耐荷重 N
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100センサー解像度 nm
0 - 1 1 - 10 10 - 100返答率
100.0%
返答時間
27.3時間