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X/Yステージ (X-Y軸) X/Yステージ-北野精機株式会社

北野精機株式会社の対応状況 返信の比較的早い企業

返答率

100.0%

返答時間

27.3時間

全型番で同じ値の指標

X軸移動量

157.5 ±5 (mm)

Y軸移動量

157.5 ±5 (mm)

許容リーク量

≦1.33×10^-11 (Pa・m3/sec)

許容加熱温度

≦200 (℃)

有効内径

φ17 (mm)

移動精度

0.01 (mm)

位置決め目盛

0.01 (mm)

接続フランジサイズ

ICF-34FT

駆動方式

ベローズ方式 (SUS316)

この製品について

■特徴

・中空構造の2軸 (X軸・Y軸) のステージとなります ・超高真空領域まで使用出来ます ・駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用し、1回転当たりのステージ移動量は各々0.5mmです ・ベローズに工夫をこらしていることで、ステージの動作に柔軟性を持たせています ・本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用出来ます ・駆動部にマイクロメータヘッドを使用している為、精度を必要とされる場所でのX軸及び、Y軸方向への微調整等に最適です ・他の直線、回転導入機等と組み合わせる事で、搬送ラインの調整等を容易にする事が出来ます

  • 型番

    KXY-34

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最新の閲覧: 17時間前


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X/Yステージ (X-Y軸) X/Yステージ KXY-34の性能表

商品画像 価格 (税抜) X軸移動量 Y軸移動量 許容リーク量 許容加熱温度 有効内径 移動精度 位置決め目盛 接続フランジサイズ 駆動方式
X/Yステージ (X-Y軸) X/Yステージ-品番-KXY-34 要見積もり 157.5 ±5 (mm) 157.5 ±5 (mm) ≦1.33×10^-11 (Pa・m3/sec) ≦200 (℃) φ17 (mm) 0.01 (mm) 0.01 (mm) ICF-34FT ベローズ方式 (SUS316)

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使用用途

#半導体検査 #精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #微細組立 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験

移動範囲 mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

位置決め精度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10

双方向再現性 µm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5

真直度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300

平坦度 µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100

耐荷重 N

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100

センサー解像度 nm

0 - 1 1 - 10 10 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

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  • 本社所在地: 東京都

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