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駆動電源(MFC)
バルブタイプ
NC：ノーマルクローズ
アクチュエータ方式
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲
2~100％F.S
応答性
2sec(設定値の±2％以内)
再現性
±0.2％F.S
耐圧
3.4MPa(G)
外部リーク
5×10-10Pa･m3/secHe
使用可能温度範囲
0~50℃
設定/出力信号
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、RS232変更可オプション：RS485、ModbusRTU(RS232、RS485)
温度影響
±0.05％/℃F.S
圧力影響
±0.0015％/kPaF.S
接ガス部材質
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツ選択
シール部材質
バイトンorネオプレンorカルレッツ選択
駆動電源(MFM)
15~24VDC±10％130mA
接続継手
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど
型番
C180M取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量レンジ | バルブタイプ | アクチュエータ方式 | 制御流量範囲 | 応答性 | 流量精度 | 再現性 | 耐圧 | 外部リーク | 使用可能温度範囲 | 設定/出力信号 | 温度影響 | 圧力影響 | 接ガス部材質 | シール部材質 | 駆動電源(MFC) | 駆動電源(MFM) | 接続継手 |
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要見積もり | 10SCCM~200SLPM | NC：ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100％F.S | 2sec(設定値の±2％以内) | ±1.0％F.S | ±0.2％F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa･m3/secHe | 0~50℃ | 標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、RS232変更可オプション：RS485、ModbusRTU(RS232、RS485) | ±0.05％/℃F.S | ±0.0015％/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツ選択 | バイトンorネオプレンorカルレッツ選択 | 24VDC±10％700mA | 15~24VDC±10％130mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
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