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バルブ動作
NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン
制御流量範囲
2~100％F.S
流量精度
±1％F.S(精度保証範囲：50~80℃)
流量設定信号
0.1~5VDC
流量出力信号
0~5VDC
再現性
±0.2％F.S
応答時間
≦1sec
最大動作圧力
400KPa(G)
耐圧力
1MPa(G)
使用保証温度範囲
50~80℃
外部リーク
1×10-11Pa･m3/secHe
取付姿勢
指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流
+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W)]
通信方式
アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet
接ガス部材質
SUS316、磁性ステンレス、PTFE
シール部材質
SUS316L
アクチュエータ方式
ソレノイドアクチュエータ
表面処理
EP処理オプション
接続継手
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal
デジタル通信
RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台
型番
FCST1005MF-HT / FCST1005MFD-HTシリーズ
高温用マスフローコントローラー取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | バルブ動作 | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧力 | 耐圧力 | 使用保証温度範囲 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | デジタル通信 |
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要見積もり | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM | NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン | 2~100％F.S | ±1％F.S(精度保証範囲：50~80℃) | 0.1~5VDC | 0~5VDC | ±0.2％F.S | ≦1sec | 50~300KPa | 400KPa(G) | 1MPa(G) | 50~80℃ | 1×10-11Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | +15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W)] | アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet | SUS316、磁性ステンレス、PTFE | SUS316L | ソレノイドアクチュエータ | EP処理オプション | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal | RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台 |
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流量(N2換算流量) が 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM の マスフローコントローラ
