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返答率
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15.6時間
デジタルマスフローコントローラー
流量(N2換算流量)
バルブタイプ
流量精度
アクチュエータ方式
耐圧力
1MPa(G)
外部リーク
1×10-7Pa･m3/secHe
取付姿勢
指定なし(自由)
シール部材質
フッ素ゴム
表面処理
機械加工仕上げ
接続継手
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。
ガス種
搭載MFC/MFMに準ずる
流量設定
0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外)
流量設定・出力信号/表示
0~5VDC/DP表示：スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動)
電源、消費電流
AC100~240V：500mA
型番
C2005シリーズ
マスフローコントローラー取扱企業
エフコン株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | 対応ガス種 | バルブタイプ | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定(メーターの場合は対象外) | 流量出力 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧力 | 使用保証温度 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM | 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) | NC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) | 2~100％F.S(メーターの場合は対象外) | ±1％F.S(精度保証範囲15~35℃) | 本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル：RS485アナログ：0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) | 本体表示器：7セグメントLEDデジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) | ±0.2％F.S | ≦2sec | 50~300KPa | 1MPa(G) | 5~50℃、85％RH以下 | 1×10-7Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | +24VDC、250mA未満 | デジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) | SUS316、PTFE、フッ素ゴム | フッ素ゴム | ソレノイド(メーターの場合は対象外) | 機械加工仕上げ | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
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使用用途
#エネルギー設備 #コーティング #バイオ医薬研究 #研究開発 #製造装置 #排水処理 #半導体製造 #薬液管理制御方式
PID制御型 ONOFF制御型 比例制御型 自己学習型表示機能
デジタル表示型 アナログ表示型構成形態
一体型 分離型入出力方式
リレー出力型 電圧出力型 電流出力型 SSR出力型入力レンジ ℃
0 - 200 200 - 1,800制御動作
AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作サンプリング周期
0.02 0.05 0.1 0.25 0.5信号源抵抗の影響
0.18 0.2 0.25
