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平面度ミラーは、水平方向に回転するだけでなく、傾けることもできます。レーザービームを水平方向と垂直方向に調節できます。 注： 平面度測定には角度用オプチカルキットも必要です。 平面度用オプチカルキットの内容： 平面度ミラー×2 50mm平面度用ベース×1 100mm平面度用ベース×1 150mm平面度用ベース×1 パーツNo.：A-8003-0442
型番
平面度用オプチカルキット取扱企業
レニショー株式会社カテゴリ
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エッジセンサーをフィルターから探すことができます
測定範囲 mm
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 50,000分解能 nm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000保護等級
IP40 IP65 IP67周囲温度 ℃
-20 - 0 0 - 10 10 - 40 40 - 50 50 - 60測定方式
回転位相子法 超音波パルス反射法 比例無接点スポット径 μm
10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000
