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直角度ミラーを通して、直交する2軸間の真直度の勾配を比較して直角度偏差を特定します。 注: 直角度測定を行うには、真直度用オプチカルキットと真直度測定用のアクセサリも必要です。 直角度用オプチカルキットの内容: 光学ミラーと固定ねじ×1 ブラケット (調節式ターニングミラー用) ×1 パーツNo.:A-8003-0665
型番
直角度用オプチカルキット取扱企業
レニショー株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) |
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測定範囲 mm
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 50,000分解能 nm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000保護等級
IP40 IP65 IP67周囲温度 ℃
-20 - 0 0 - 10 10 - 40 40 - 50 50 - 60測定方式
回転位相子法 超音波パルス反射法 比例無接点スポット径 μm
10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000