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対応基板サイズ
[標準] φ3インチ ~ φ6インチ [オプション] φ2インチ ~ φ4インチ [オプション] 156mm × 156mm 角型基板 [オプション] サセプタ使用時：個片チップ~φ6インチ
温度制御範囲 TC
100℃~800℃
温度制御範囲 (Option) Special-TC
100℃~1,050℃
温度制御範囲 (Option) パイロメータ
450℃~1,250℃
加熱方式
赤外線ランプ放射加熱 (1.2kW×21本,Top 10、Bottom 11)
冷却方式
ガスパージによる強制空冷
加熱方向
上下面2方向
温度制御方式
検出温度フィードバックによるクローズドループ制御
昇温速度
10℃/sec~150℃/sec
降温速度
10℃/sec~150℃/sec
温度測定精度
TC：±1℃ (校正後) ，ERPパイロメータ：±4℃ (校正後)
面内温度均一性
ΔT 10℃
ランプゾーン数
6ゾーン独立制御
試料ローディング方式
フロントローディング (手動)
プロセス処理室、試料搭載部
石英チューブ、石英トレイ
チャンバー材質
アルミニウム合金+拡散反射Auコーティング
チャンバー冷却方式
空冷・水冷併用
プロセスガス種
N2、O2、He、Ar、フォーミングガス (水素濃度5％程度)
プロセスガス系統数
[標準] 1系統 (N2) [オプション] 最大4系統
プロセスガス流量制御範囲
[標準] 0.2slpm~10slpm (MFCによる制御) [オプション] 20sccm~1000sccm (MFCによる制御) 他
登録レシピ数
制限なし
レシピ当たりのステップ数
最大40ステップ (サイクリックアニールの場合、最大99ループ対応)
プロセス制御方式
装置組み込みコンピューターボード、RTAProソフトウェア、17インチ液晶モニタ、キーボード、マウス
ソフトウェアの主な機能
・リアルタイムプロセスモニタ ・レシピ編集、保存、読み出し ・プロセスデータリコール ・プロセスデータ出力 (Txt形式) ・各種キャリブレーション ・システム診断 etc.
安全対策
非常停止SW、過昇温検出、冷却水監視、ドア開閉監視、ウォッチドッグタイマー etc.
外形寸法・重量
W660×D432×H366 mm・50kg
タイプ
6インチ対応
型番
AW610M取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | 温度制御範囲 TC | 温度制御範囲 (Option) Special-TC | 温度制御範囲 (Option) パイロメータ | 加熱方式 | 冷却方式 | 加熱方向 | 温度制御方式 | 昇温速度 | 降温速度 | 温度測定精度 | 面内温度均一性 | ランプゾーン数 | 試料ローディング方式 | プロセス処理室、試料搭載部 | チャンバー材質 | チャンバー冷却方式 | プロセスガス種 | プロセスガス系統数 | プロセスガス流量制御範囲 | 登録レシピ数 | レシピ当たりのステップ数 | プロセス制御方式 | ソフトウェアの主な機能 | 安全対策 | 外形寸法・重量 | タイプ |
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要見積もり |
[標準] φ3インチ ~ φ6インチ [オプション] φ2インチ ~ φ4インチ [オプション] 156mm × 156mm 角型基板 [オプション] サセプタ使用時：個片チップ~φ6インチ |
100℃~800℃ | 100℃~1,050℃ | 450℃~1,250℃ | 赤外線ランプ放射加熱 (1.2kW×21本,Top 10、Bottom 11) | ガスパージによる強制空冷 | 上下面2方向 | 検出温度フィードバックによるクローズドループ制御 | 10℃/sec~150℃/sec | 10℃/sec~150℃/sec | TC：±1℃ (校正後) ，ERPパイロメータ：±4℃ (校正後) | ΔT 10℃ | 6ゾーン独立制御 | フロントローディング (手動) | 石英チューブ、石英トレイ | アルミニウム合金+拡散反射Auコーティング | 空冷・水冷併用 | N2、O2、He、Ar、フォーミングガス (水素濃度5％程度) |
[標準] 1系統 (N2) [オプション] 最大4系統 |
[標準] 0.2slpm~10slpm (MFCによる制御) [オプション] 20sccm~1000sccm (MFCによる制御) 他 |
制限なし |
最大40ステップ (サイクリックアニールの場合、最大99ループ対応) |
装置組み込みコンピューターボード、RTAProソフトウェア、17インチ液晶モニタ、キーボード、マウス |
・リアルタイムプロセスモニタ ・レシピ編集、保存、読み出し ・プロセスデータリコール ・プロセスデータ出力 (Txt形式) ・各種キャリブレーション ・システム診断 etc. |
非常停止SW、過昇温検出、冷却水監視、ドア開閉監視、ウォッチドッグタイマー etc. | W660×D432×H366 mm・50kg | 6インチ対応 |
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温度範囲 ℃
100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,300 1,300 - 1,500 1,500 - 1,800昇温速度 ℃/sec
10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 150降温速度 ℃/sec
10 - 50 50 - 100 100 - 150
