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ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS (6 inch) -ハイソル株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

27.0時間

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対応ウエハサイズ

~φ150mm

ステージXY移動範囲

X:160mm,Y:250mm

バックサイドプラテンZ移動範囲

20mm (手動・自動選択)

ステージXY繰り返し精度

<±2um

ステージXY位置決め精度

<±5um

ステージZ移動範囲

20mm

ステージZ繰り返し精度

<±1um

ステージθ移動範囲

±5°

ステージθ位置決め分解能

0.0002°

システム寸法 (W×D×H)

1,600×1100×1,700 mm

システム重量

約750kg

この製品について

ウェハ表面・裏面 両サイドにアクセス可能なダブルサイドセミオートプローブシステムをカスタム対応でご提供いたします。フリップチップタイプの各種受発光素子の評価や、バックサイド・エミッション観察等の故障解析用途、ダブルサイドプロービング等に対応できます。

■アプリケーション

・オプトエレクトロニクス (受発光素子) のオンウェハ評価、ダイシング後チップ評価 ・バックサイド・エミッション観察 (故障解析用途) ・パワーデバイスの低ON抵抗測定 (ダブルサイド・プロービング) ・ダイシングテープ上に整列した素子の自動プロービング ・不良ダイマーキング対応 (インカー、けがき) ・レーザーカッターの搭載 (ポイントマーキング,保護膜剥離,配線カット)

  • 型番

    HSP-150DS (6 inch)

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ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS (6 inch) HSP-150DS (6 inch) の性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲 バックサイドプラテンZ移動範囲 ステージXY繰り返し精度 ステージXY位置決め精度 ステージZ移動範囲 ステージZ繰り返し精度 ステージθ移動範囲 ステージθ位置決め分解能 システム寸法 (W×D×H) システム重量
ダブルサイド セミオート・プローバー HSP-150DS (6 inch) -品番-HSP-150DS (6 inch) 要見積もり ~φ150mm X:160mm,Y:250mm 20mm (手動・自動選択) <±2um <±5um 20mm <±1um ±5° 0.0002° 1,600×1100×1,700 mm 約750kg

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対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

27.0時間

会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都

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