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返答率
100.0%
返答時間
45.7時間
垂直スキャンレンジ
20mm
RMS再現性
0.1nm
段差再現性
0.3%
段差正確性
3%
光学水平方向分解能
0.52um (50x対物レンズ使用時)
最小サンプリング間隔
0.17um (50x対物レンズ使用時)
型番
ZeGage™ Proシリーズ
白色干渉計 ZeGage™ Pro取扱企業
アメテック株式会社 ZYGO事業部カテゴリ
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干渉計の製品52点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 垂直スキャンレンジ | STR | RMS再現性 | 段差再現性 | 段差正確性 | 光学水平方向分解能 | 最小サンプリング間隔 |
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要見積もり | 20mm | 3.5nm | 0.1nm | 0.3% | 3% | 0.52um (50x対物レンズ使用時) | 0.17um (50x対物レンズ使用時) |
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分解能 nm
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,500測定範囲 mm
0 - 5 5 - 50波⻑レンジ nm
300 - 400 400 - 700 700 - 1,300 1,300 - 1,800測定波⻑ nm
400 - 450 450 - 700 700 - 800
