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表面検査メトロロジー Surface Inspection Metrology of Nanofilms (SIMON) -パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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この製品について

SIMONは、イメージングエリプソメトリーにおける規則的な測定作業に特化した特別仕様となっています。 シンプルなユーザーインターフェースと固定角エリプソメーターの堅牢性により、イメージングエリプソメトリーを容易に利用可能です。顕微鏡モードは非常に高速に、極薄膜 (例えば単層膜:d =0.35nm) の変化や欠陥を可視化することができ、一方、エリプソメトリモードではサンプル材料の厚さと屈折率を測定することが可能です。 イメージングエリプソメトリー自体は、厚みと屈折率測定の感度と顕微鏡のイメージングを兼ね備えています。これにより、微細な構造を持つサンプルなどの厚みと屈折率の変化を顕微鏡画像で判断することが可能です。 典型的な用途としては、品質管理における大型サンプルの均一性や欠陥の表面検査、2次元材料の剥離フレークの高速検出などが挙げられます。

■特徴

・初心者にも使いやすいシンプルなシステム ・エリプソメトリ位置分解能が1µmまで向上したイメージングエリプソメトリー ・微細構造物の厚みと屈折率の測定 ・大面積の層厚分布や隠れた欠陥の高速可視化

  • 型番

    SIMON

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使用用途

#解析 #計測 #撮影 #研究開発 #手作業支援 #傷観察

表示方式

デジタル表示型 光学観察型

撮像方式

カメラ内蔵型 外部カメラ接続型

ピント調整方式

手動焦点型 自動焦点型

照明方式

同軸照明型 リング照明型 斜光照明型

倍率 倍

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 5,000

撮像素子 インチ

0.2 - 0.3 0.3 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 0.6

画素数 万画素

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,300

解像度 ピクセル

500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,000 3,000 - 5,500

作動距離 mm

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 500

視野 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

フレームレート fps

10 - 30 30 - 60 60 - 70

電源 V

0 - 5 5 - 100 100 - 200 200 - 300

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会社概要

パーク・システムズ・ジャパン株式会社は、ナノテクノロジー分野向けの高精度顕微鏡や計測装置の設計・製造・販売を行うメーカーです。 韓国に本社を置くPark Systems Corporationの日本法人として販売と...

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  • 本社所在地: 東京都

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