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100.0%
返答時間
54.0時間
マスフロー フルスケール流量
10slm 10,000sccm
マスフロー 精度
0.08% FS or 8% SP
マスフロー 最高使用圧力
5bar
マスフロー キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
マスフロー 流体コネクタポート
Legris
供給電圧
14 - 26.4V
平均供給電流
200,000uA
最大供給電流
320,000uA
インターフェイス
デバイスネット,RS485
サイズ (LxWxH)
115 x 24.6 x 91mm3
型番
SFC5500-10slm取扱企業
センシリオン株式会社カテゴリ
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | マスフロー フルスケール流量 | マスフロー 精度 | マスフロー 最高使用圧力 | マスフロー キャリブレーション | マスフロー 流体コネクタポート | 供給電圧 | 平均供給電流 | 最大供給電流 | インターフェイス | サイズ (LxWxH) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり |
10slm 10,000sccm |
0.08% FS or 8% SP | 5bar | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow | Legris | 14 - 26.4V | 200,000uA | 320,000uA | デバイスネット,RS485 | 115 x 24.6 x 91mm3 |
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マスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
