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返答時間
54.0時間
マスフロー フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm
マスフロー 精度
0.08% FS or 8% SP
マスフロー 最高使用圧力
10bar
マスフロー キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
マスフロー 流体コネクタポート
Swagelock, VCO, VCR, ownmount
供給電圧
14 - 26.4V
平均供給電流
50,000uA
最大供給電流
320,000uA
インターフェイス
アナログ電圧出力,アナログ電流,デバイスネット,IOリンク,RS485
サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91mm3
型番
SFM5400取扱企業
センシリオン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | マスフロー フルスケール流量 | マスフロー 精度 | マスフロー 最高使用圧力 | マスフロー キャリブレーション | マスフロー 流体コネクタポート | 供給電圧 | 平均供給電流 | 最大供給電流 | インターフェイス | サイズ (LxWxH) |
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要見積もり | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100slm | 0.08% FS or 8% SP | 10bar | Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow | Swagelock, VCO, VCR, ownmount | 14 - 26.4V | 50,000uA | 320,000uA | アナログ電圧出力,アナログ電流,デバイスネット,IOリンク,RS485 | 101.1 x 24.4 x 91mm3 |
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マスフローメーターをフィルターから探すことができます
使用用途
#流量制御 #半導体製造 #医療機器 #化学反応管理 #水処理管理 #ガス供給管理測定原理
コリオリ式 熱式 差圧式流体種類対応
気体用 液体用 高粘度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型流量範囲 kg/h
0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 1,000 1,000 - 2,500 2,500 - 5,000精度 %
0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.25 0.25 - 0.35 0.35 - 1 1 - 1.5 1.5 - 3 3 - 5使用圧力範囲 MPa
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 45 45 - 110使用温度範囲 ℃
-50 - 0 0 - 60 60 - 80 80 - 200 200 - 205応答速度 ms
2 - 10 10 - 2,000フルスケール流量 slm
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 1,000 1,000 - 15,000最高使用圧力 MPa
0 - 100 100 - 300
