SFM6000 | マスフローコントローラー SFM6000
センシリオン株式会社

センシリオン株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

81.3時間

全型番で同じ値の指標

マスフローフルスケール流量

2, 5, 20 and 50slm 500sccm

マスフロー精度

0.2% FS or 2% SP

マスフロー最高使用圧力

10bar

マスフローキャリブレーション

Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow

マスフロー流体コネクタポート

Push-in 6mm, downmount

供給電圧

22.8 - 25.2V

平均供給電流

10mA

最大供給電流

20mA

インターフェイス

I2C, RS485

サイズ (LxWxH)

74 x 21 x 20mm3

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。

SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。競合他社が納期を30～53週間に設定している一方で、SFC6000のサンプルは短納期で入手できます。また、あらかじめ校正が決められた SFC6000の一部製品はカタログ配布で入手できます。

SFC6000は非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化できます。これは、特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮します。SFC6000 は集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です。

熱質量測定の原理をベースに、実績のあるCMOSens®MEMS技術を採用する、センシリオンはクラス最高の性能と応答速度を備えたマスフローコントローラーを提供します。これは、市場に流通する他のほとんどのデバイスとは異なり、ドリフトせず、サービスの再調整も不要です。

■用途・半導体： フロント オープニング ユニファイド ポッド  (FOUP) 、ガラスコーティングおよび処理
・分析機器：ガスクロマトグラフィー、バイオリアクター
・医療機器: 麻酔、換気、人工心肺、N2O療法
・産業オートメーション

型番
SFM6000

シリーズ
マスフローコントローラー SFM6000

取扱企業
センシリオン株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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マスフローコントローラー SFM6000 SFM6000の性能表

商品画像	価格 (税抜)	マスフローフルスケール流量	マスフロー精度	マスフロー最高使用圧力	マスフローキャリブレーション	マスフロー流体コネクタポート	供給電圧	平均供給電流	最大供給電流	インターフェイス	サイズ (LxWxH)
	要見積もり	2, 5, 20 and 50slm 500sccm	0.2% FS or 2% SP	10bar	Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses flow	Push-in 6mm, downmount	22.8 - 25.2V	10mA	20mA	I2C, RS485	74 x 21 x 20mm3