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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-雄山株式会社

CV92M | 水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ
雄山株式会社

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型番説明

CVmap92Aから内部測定機能と自動マッピングソフトウェアを取り除いた、手動操作に特化したモデルです。 試料台の移動や水銀プローブのコンタクト操作は前面パネルのボタンで行います。試料台はモーターで動作する電動式で、ウェハサイズは1~8インチに対応しています。外部計測器と組み合わせてCV測定、IV測定ができます (測定には外部計測器が別途必要です) 。オプションとして計測・解析用のソフトウェアを取り揃えています。

タイプ

この製品について

再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。

■特徴

Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。ユーザが最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

■主な測定項目

・ドーピングプロファイル (キャリア濃度) ・比誘電率 (Low-K, High-K など) ・フラットバンド電圧 ・界面トラップ、固定電荷密度 ・リーク電流 ・破壊電圧測定 (Vbd, TDDB) ・チャージによる破壊試験 (Qbd) ・ピンホール密度縁膜膜厚、絶縁膜容量 ・強誘電体特性 ・ジェネレーション・ライフタイム絶縁膜の抵抗 ・Pseudo-MOSトランジスタ測定 (B-type) ・BOX界面Dit、モビリティ測定 (B-type)

■CVmapシリーズのラインナップ

・CVmap92A：マッピング測定対応、標準タイプ ・CVmap92B：SOIウエハ対応タイプ ・CVmap3092A、B：12インチ対応タイプ ・CV92M：マニュアル測定タイプ

  • 型番

    CV92M

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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ CV92Mの性能表

商品画像 価格 (税抜) タイプ
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-品番-CV92M 要見積もり マニュアル測定タイプ

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使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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