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プラズマ発生用電源・自動整合器 標準タイプ-株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘンの対応状況

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158.1時間

型番説明

・小型・高効率の標準タイプ ・2レベルパルス対応の高機能タイプ ■特徴 ・当社独自のアルゴリズムにより最適なポジションを計算で求めているため、無駄な動作を抑えた高速・高精度な整合特性 ・多彩な整合パラメータ設定 ・PC接続によるモニタ機能を使ってデータ測定、監視が可能

全型番で同じ値の指標

出力安定度

±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内

周波数範囲

13.56MHz

許容通過電力

500W~30kW

整合精度

1%以内 (電力比)

整合速度

3秒以内

この製品について

■400kHz/500W~20kW、2MHz/500W~20kW、4MHz/500W~20kW

パルス出力機能付き高周波数

■13.56MHz/3kW~30kW

小型・高効率高周波数電源

■特徴

・パルス機能を搭載 ・整合器を含めたフル・サポートにも対応 ・大電力モデルも取り揃え、プロセスのハイパワー化に対応

  • 型番

    13.56MHz 自動整合器

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プラズマ発生用電源・自動整合器 標準タイプ 13.56MHz 自動整合器の性能表

商品画像 価格 (税抜) 冷却方式 周波数範囲 許容通過電力 整合精度 整合速度
プラズマ発生用電源・自動整合器 標準タイプ-品番-13.56MHz 自動整合器 要見積もり 水冷、強制空冷 13.56MHz 500W~30kW 1%以内 (電力比) 3秒以内

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定格出力 W

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000

発振周波数 MHz

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000

出力電力定格 W

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000

冷却方式

空冷 水冷

出力安定度 %

1 2

使用環境 ℃

0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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158.1時間

会社概要

株式会社ダイヘンは、変圧器や溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源など産業用製品の開発を手掛けるメーカーです。 1919年に創立し、1961年には東証一部に上場、国内外に多くの拠点を持ちます。 近年では再生可...

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  • 本社所在地: 大阪府

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