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返答率
100.0%
返答時間
158.1時間
・小型・高効率の標準タイプ ・2レベルパルス対応の高機能タイプ ■特徴 ・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応 ・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献 ・500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充
外形寸法 幅 (W)
外形寸法 高さ (H)
型番
13.56MHz高周波電源500W～30kW 高性能タイプ取扱企業
株式会社ダイヘンカテゴリ
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高周波電源の製品63点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 定格出力 | 出力安定度 | パルス周波数 | 外形寸法 幅 (W) | 外形寸法 高さ (H) | 外形寸法 奥行き (L) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | 500W/1kW/2kW/3kW/5kW | ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 | 1Hz-100lHz (2レベル) |
500W/1kW:215mm 2kW/3kW:420mm |
500W/1kW2kW/3kW:133mm (3U) 5kW:222mm |
500W/1kW:430mm 2kW/3kW/5kW:500mm |
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定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000発振周波数 MHz
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1 2使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 40
