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石英ガラスウェーハ移載装置-PHT株式会社

PHT株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

57.3時間

全型番で同じ値の指標

直径

φ300mm±0.2mm

厚さ

400~700μm

反り

40μm以下

接触可能範囲

ウエハ裏面

ウェーハ収納ピッチ

10mm

タクトタイム・移載時間

6分30秒/25枚以下

この製品について

本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①~ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。 基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。

  • 型番

    石英ガラスウェーハ移載装置

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石英ガラスウェーハ移載装置 石英ガラスウェーハ移載装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 直径 厚さ 反り 接触可能範囲 ウェーハ収納ピッチ タクトタイム・移載時間
石英ガラスウェーハ移載装置-品番-石英ガラスウェーハ移載装置 要見積もり φ300mm±0.2mm 400~700μm 40μm以下 ウエハ裏面 10mm 6分30秒/25枚以下

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使用用途が搬入搬出の製品

フィルターから探す

搬送装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

57.3時間

会社概要

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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  • 本社所在地: 東京都

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