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返答率
100.0%
返答時間
57.3時間
搬送対象
300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm
キャリア
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31)
電源電圧
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流
4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空 (元圧)
-80kPa~-90kPa
正圧 (元圧)
0.6MPa~0.7MPa
EMO接点出力
2系統 (ドライ接点)
インターロック
入力8点/出力8点 (絶縁I/O)
型番
TYK2102-3シリーズ
EFEM・ソータ取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ポート数 | 搬送対象 | キャリア | 電源電圧 | 消費電流 | 真空 (元圧) | 真空 (流量) | 正圧 (元圧) | 正圧 (流量) | EMO接点出力 | インターロック |
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要見積もり | 3ポート | 300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む | -80kPa~-90kPa | 50L/min | 0.6MPa~0.7MPa | 30L/min | 2系統 (ドライ接点) | 入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
搬送装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出搬送能力 kg
100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000走行速度 m/min
10 - 30 30 - 60 60 - 150電源電圧 V
20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250ワークサイズ mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000
