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返答率
100.0%
返答時間
57.3時間
対応サイズ
φ12″
収納
カセット (25枚入)
収納カセット
最大6個
プレート治具
NTC製・MB製
駆動方式
モーター駆動 (サーボ)
安全機構
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止
電源
AC200V、100A
装置重量
約5,000kg
型番
PWD2020取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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アッシング装置の製品25点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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商品画像 | 価格 (税抜) | 対応サイズ | 収納 | 収納カセット | プレート治具 | 駆動方式 | 安全機構 | 電源 | 装置重量 | オプション |
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要見積もり | φ12″ | カセット (25枚入) | 最大6個 | NTC製・MB製 | モーター駆動 (サーボ) | カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止 | AC200V、100A | 約5,000kg |
ローダー部IDリーダー、アンローダー部RFID、ウェーハ反転、複数カセットへの収納、エリアセンサーなど |
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