PHT-R-4-2022 | ウェーハ搬送ロボット
PHT株式会社

PHT株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

57.3時間

全型番で同じ値の指標

設置環境

クリーンルーム内大気中温度10℃~35℃ 湿度70％RH以下

アーム

シングルアーム材質アルミ・CFRP・セラミック

動作範囲

X軸：500mm θ軸：340deg Z軸：300mm ハンド回転：0~180°

動作速度 (最速)

X軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Z軸：250mm/sec ハンド回転：180deg/sec

可搬質量

3kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計)

被搬送物

~300mmウェーハ

ウェーハ保持方式

真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド

機械構造形式

水平多関節型円筒座標系

制御軸

4軸

モータタイプ

ACサーボモータアブソリュートエンコーダ仕様

重量

本体重量：約47kg コントローラ：約8kg

制御ケーブル

3m (標準) ・5ｍ・10ｍ

制御仕様 (1)

パラレルインターフェース入力32点出力32点

制御仕様 (2)

シリアルインターフェース RS－232C×1回線

繰り返し精度

±0.1mm以下

クリーン度

ISOクラス2 (0.1μm以上 10個/ｍ³以下)

定格電圧

単相AC200~230V±10%

定格電流

5A真空：-80kPa以下 10NL/min以上

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

型番
PHT-R-4-2022

シリーズ
ウェーハ搬送ロボット

取扱企業
PHT株式会社

カテゴリ

ロボット

クリーンロボット

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4-2022の性能表

商品画像	価格 (税抜)	設置環境	アーム	動作範囲	動作速度 (最速)	可搬質量	被搬送物	ウェーハ保持方式	機械構造形式	制御軸	モータタイプ	重量	制御ケーブル	制御仕様 (1)	制御仕様 (2)	繰り返し精度	クリーン度	定格電圧	定格電流
	要見積もり	クリーンルーム内大気中温度10℃~35℃ 湿度70％RH以下	シングルアーム材質アルミ・CFRP・セラミック	X軸：500mm θ軸：340deg Z軸：300mm ハンド回転：0~180°	X軸：500mm/sec θ軸：200deg/sec Z軸：250mm/sec ハンド回転：180deg/sec	3kg (ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計)	~300mmウェーハ	真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド	水平多関節型円筒座標系	4軸	ACサーボモータアブソリュートエンコーダ仕様	本体重量：約47kg コントローラ：約8kg	3m (標準) ・5ｍ・10ｍ	パラレルインターフェース入力32点出力32点	シリアルインターフェース RS－232C×1回線	±0.1mm以下	ISOクラス2 (0.1μm以上 10個/ｍ³以下)	単相AC200~230V±10%	5A真空：-80kPa以下 10NL/min以上