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返答率
100.0%
返答時間
57.3時間
ワーク
半導体基板
装置重量
約500kg
ワーク厚さ
600~850μm
ワークサイズ
300mm
電源
AC200V,15A
カセット (容器)
FOUP・FOSB・OPEN・PFA
スループット
25枚/1カセット搬送時間 300秒以下
駆動方式
モーター駆動 (サーボ)
搬送単位
1枚単位 ・ 5枚単位 ・ 25枚単位
装置サイズ
W1,000×D1,400×H1,800mm
安全機構
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、 異常警報、非常停止
型番
PWT2020シリーズ
ウェーハ搬送装置取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
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返答率96%
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商品画像 | 価格 (税抜) | ワーク | 装置重量 | ワーク厚さ | ワークサイズ | 電源 | カセット (容器) | スループット | 駆動方式 | 搬送単位 | 装置サイズ | 安全機構 | オプション |
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![]() |
要見積もり | 半導体基板 | 約500kg | 600~850μm | 300mm | AC200V,15A | FOUP・FOSB・OPEN・PFA | 25枚/1カセット搬送時間 300秒以下 | モーター駆動 (サーボ) | 1枚単位 ・ 5枚単位 ・ 25枚単位 | W1,000×D1,400×H1,800mm |
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、 異常警報、非常停止 |
静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー・エリアセンサーIDリーダー・アライメント・ウェーハ反転など |
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搬送装置搬送装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出搬送能力 kg
100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000走行速度 m/min
10 - 30 30 - 60 60 - 150電源電圧 V
20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250ワークサイズ mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000