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返答率
100.0%
返答時間
18.6時間
アクティブ軸
X、Y
X方向の移動範囲
50mm
Y方向の移動範囲
25mm
Xでのシステム解像度
2.5nm
Y位のシステム解像度
2.5nm
X方向の最小増分動作
0.2μm
Y方向の最小増分動作
0.2μm
Xにおける一方向の再現性
1μm
Y方向の一方向再現性
1μm
Xのバックラッシュ
6μm
Y方向のバックラッシュ
6μm
X方向の速度
10mm/s
Y方向の速度
10mm/s
基準スイッチ
ホール効果
基準スイッチの再現性
1μm
制限スイッチ
ホール効果
X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク
±50μrad
X方向の動きによるθZ方向の回転クロストーク
±50μrad
Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク
±50μrad
Y方向の動きによるθZ方向の回転クロストーク
±50μrad
ドライブスクリュータイプ
親ねじ
ドライブスクリューピッチ
1mm
ガイドタイプ
クロスローラーガイド
X方向の駆動力
50N
Y方向の駆動力
50N
Xの保持力、パッシブ
200N
Y方向の保持力、パッシブ
200N
負荷容量
200N
全体の質量
8,460g
モーターの種類
ステッピングモーター
型番
M-971.01取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲 | Y方向の移動範囲 | Xでのシステム解像度 | Y位のシステム解像度 | X方向の最小増分動作 | Y方向の最小増分動作 | Xにおける一方向の再現性 | Y方向の一方向再現性 | Xのバックラッシュ | Y方向のバックラッシュ | X方向の速度 | Y方向の速度 | 基準スイッチ | 基準スイッチの再現性 | 制限スイッチ | X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク | X方向の動きによるθZ方向の回転クロストーク | Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク | Y方向の動きによるθZ方向の回転クロストーク | ドライブスクリュータイプ | ドライブスクリューピッチ | ガイドタイプ | X方向の駆動力 | Y方向の駆動力 | Xの保持力、パッシブ | Y方向の保持力、パッシブ | 負荷容量 | 全体の質量 | モーターの種類 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | X、Y | 50mm | 25mm | 2.5nm | 2.5nm | 0.2μm | 0.2μm | 1μm | 1μm | 6μm | 6μm | 10mm/s | 10mm/s | ホール効果 | 1μm | ホール効果 | ±50μrad | ±50μrad | ±50μrad | ±50μrad | 親ねじ | 1mm | クロスローラーガイド | 50N | 50N | 200N | 200N | 200N | 8,460g | ステッピングモーター |
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2軸ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験駆動方式
ボールねじ駆動型 リニアモータ駆動型 ピエゾ駆動型案内方式
LMガイド型 クロスローラガイド型 空気静圧ガイド型構造形式
XY直交型 XYθ複合型制御方式
オープンループ型 クローズドループ型移動範囲 mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800位置決め精度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10双方向再現性 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5真直度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300平坦度 µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100耐荷重 N
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100センサー解像度 nm
0 - 1 1 - 10 10 - 100
