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返答率
100.0%
返答時間
20.2時間
アクティブ軸
Z θX θY
Z方向の移動範囲
5mm
θXでの回転範囲
2°
回転範囲 (θY)
1.6°
Z方向の加速、無負荷
10m/s²
Z方向の最大速度、無負荷時
200mm/秒
ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク)
±25μrad
ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)
±25μrad
Z方向の最小増分動作
0.01μm
θXの最小増分運動
0.06μrad
θYの最小増分運動
0.06μrad
Z方向の位置決め精度、校正済み
±0.5μm
θXでの位置決め精度、未校正
±15μrad
位置決め精度 (θY、未校正)
±15μrad
Z方向の双方向繰返し精度
0.25μm
θXの双方向再現性
8μrad
θYの双方向繰返し精度
8μrad
統合センサー
アブソリュートリニアエンコーダ
センサー信号
BiSS-C
センサー解像度
1nm
ドライブタイプ
鉄筋レス三相リニアモーター
公称電圧
24V
ピーク電圧
60V
公称電流、RMS
1.4A
ピーク電流、RMS
2.8A
力定数
5.9 該当なし
抵抗相間
5.2Ω
インダクタンス相間
1mH
逆起電力位相-位相
4.2V・s/m
ポールピッチNN
19.66mm
型番
A-523.25005B3取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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傾斜ステージの製品140点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z方向の移動範囲 | θXでの回転範囲 | 回転範囲 (θY) | Z方向の加速、無負荷 | Z方向の最大速度、無負荷時 | ヨー (Z方向の動きを伴うθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (Z方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | Z方向の最小増分動作 | θXの最小増分運動 | θYの最小増分運動 | Z方向の位置決め精度、校正済み | θXでの位置決め精度、未校正 | 位置決め精度 (θY、未校正) | Z方向の双方向繰返し精度 | θXの双方向再現性 | θYの双方向繰返し精度 | 統合センサー | センサー信号 | センサー解像度 | ドライブタイプ | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | ピーク電流、RMS | 力定数 | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | 逆起電力位相-位相 | ポールピッチNN |
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要見積もり | Z θX θY | 5mm | 2° | 1.6° | 10m/s² | 200mm/秒 | ±25μrad | ±25μrad | 0.01μm | 0.06μrad | 0.06μrad | ±0.5μm | ±15μrad | ±15μrad | 0.25μm | 8μrad | 8μrad | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | 1nm | 鉄筋レス三相リニアモーター | 24V | 60V | 1.4A | 2.8A | 5.9 該当なし | 5.2Ω | 1mH | 4.2V・s/m | 19.66mm |
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使用用途
#精密測定 #光学調整 #半導体検査 #顕微鏡観察 #3D計測 #ロボット制御駆動方式
手動型 モータ駆動型 電動サーボ型 空圧駆動型傾斜方式
単軸型 二軸型 多軸型 並進回転複合型制御精度
マイクロメータ型 デジタル制御型 高精密型Zでの双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 250Z単位のシステム解像度 nm
0.5 - 0.8 0.8 - 1Z単位の分解能 nm
0.2 - 0.4 0.4 - 0.6Z単位の剛性 N/μm
1 - 2 2 - 3 3 - 4Z単位の移動範囲 µm
50 - 100 100 - 200回転範囲 mrad
0 - 50 50 - 150 150 - 250 250 - 350傾斜角度 °
-100 - -50 -50 - 0 0 - 50 50 - 100
