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返答時間
20.4時間
移動範囲、ガントリー軸 (mm)
最大加速度、無負荷 (m/s²)
移動質量、ガントリー軸 (kg)
モーターの数
移動範囲、ブリッジ軸 (mm)
350; 500
ガイド
エアベアリング、真空プリロード付き
統合センサー
アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ
センサー解像度 (nm)
1
真直度 (µm)
1
平ら (µm)
2
ピッチ (µrad)
10
最大速度、無負荷 (m/s)
1
位置安定性 (nm)
±30
公称電圧、DC (V)
70/70
ピーク電圧、DC (V)
300/300
冷却システム
水、20℃、2~3リットル/分
型番
A-322 Ultra取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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2軸ステージの製品233点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 精度/ダイナミクス | 移動範囲、ブリッジ軸 (mm) | 移動範囲、ガントリー軸 (mm) | モーションプラットフォームのサイズ | ガイド | 統合センサー | センサー解像度 (nm) | 耐荷重 (kg) | 双方向再現性 (µm) | 位置決め精度、校正済み (µm) | 真直度 (µm) | 平ら (µm) | ピッチ (µrad) | ヨー (µrad) | XY直交性 (µrad) | 最大速度、無負荷 (m/s) | 最大加速度、無負荷 (m/s²) | 位置安定性 (nm) | 移動質量、ブリッジ軸 (kg) | 移動質量、ガントリー軸 (kg) | モーターの数 | 公称電圧、DC (V) | ピーク電圧、DC (V) | 公称力 (N) | ピーク力 (N) | 力定数、実効値 | 公称電流、実効値 (A) | ピーク電流、実効値 (A) | 逆起電力、位相 (V·s/m) | 抵抗、相相 (Ω) | インダクタンス、相相 (mH) | 冷却システム |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | 高/高 | 350; 500 | 350; 500; 750; 1000 | 250 × 318 | エアベアリング、真空プリロード付き | アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ | 1 | 30 | ±0.05 | ±0.2 | 1 | 2 | 10 | 2 | 2 | 1 | 20/15 (ブリッジ/ガントリー軸) | ±30 | 20 |
ブリッジ軸の移動範囲に応じて: 350 mm: 70 kg 500 mm: 75 kg |
2×ブリッジ、2×ガントリー軸 | 70/70 | 300/300 | 87/140 | 300/480 | 19.9/27.5 | 4.4/5.1 | 15/17.5 | 16/22.5 | 3.6/2.6 | 1.2/2.0 | 水、20℃、2~3リットル/分 |
2軸ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体検査 #精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #微細組立 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験移動範囲 mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800位置決め精度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10双方向再現性 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5真直度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300平坦度 µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100耐荷重 N
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100センサー解像度 nm
0 - 1 1 - 10 10 - 100
