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A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況 返信の比較的早い企業

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精度/ダイナミクス

移動範囲、ガントリー軸 (mm)

モーションプラットフォームのサイズ

耐荷重 (kg)

双方向再現性 (µm)

位置決め精度、校正済み (µm)

ヨー (µrad)

XY直交性 (µrad)

最大加速度、無負荷 (m/s²)

移動質量、ブリッジ軸 (kg)

公称電流、実効値 (A)

ピーク電流、実効値 (A)

逆起電力、位相 (V·s/m)

抵抗、相相 (Ω)

インダクタンス、相相 (mH)

全型番で同じ値の指標

移動範囲、ブリッジ軸 (mm)

350; 500

ガイド

エアベアリング、真空プリロード付き

統合センサー

アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ

センサー解像度 (nm)

1

真直度 (µm)

1

平ら (µm)

2

ピッチ (µrad)

10

最大速度、無負荷 (m/s)

1

位置安定性 (nm)

±30

公称電圧、DC (V)

70/70

ピーク電圧、DC (V)

300/300

冷却システム

水、20℃、2~3リットル/分

この製品について

分解能1 nmのXYポジショニングシステム。

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・移動範囲 500 mm × 1000 mm ・245 Nまでの負荷容量 ・分解能 1 nm、速度 2 m/s ・3つのパフォーマンスクラス:ベース、プラス、ウルトラ 概要

■PIMag磁気ダイレクトドライブ®

三相磁気ダイレクトドライブは、ドライブトレインに機械部品を使用せず、摩擦なしで直接駆動力をモーションプラットフォームに伝達します。ドライブは高速と加速に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。 これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になると同時に、高速でも振動がありません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。大手メーカーのデジタルコントローラでの操作は、ダイナミクスとエラー補償を改善するための高度な制御アルゴリズムを提供します。

■アクセサリとオプション

エンコーダー/PIglideフィルターと空気準備キット/多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ/マシンベース/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡、スキャンなどの高精度アプリケーションに最適です。

  • 型番

    A-322 Base

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A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング A-322 Baseの性能表

商品画像 価格 (税抜) 精度/ダイナミクス 移動範囲、ブリッジ軸 (mm) 移動範囲、ガントリー軸 (mm) モーションプラットフォームのサイズ ガイド 統合センサー センサー解像度 (nm) 耐荷重 (kg) 双方向再現性 (µm) 位置決め精度、校正済み (µm) 真直度 (µm) 平ら (µm) ピッチ (µrad) ヨー (µrad) XY直交性 (µrad) 最大速度、無負荷 (m/s) 最大加速度、無負荷 (m/s²) 位置安定性 (nm) 移動質量、ブリッジ軸 (kg) 移動質量、ガントリー軸 (kg) モーターの数 公称電圧、DC (V) ピーク電圧、DC (V) 公称力 (N) ピーク力 (N) 力定数、実効値 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) 逆起電力、位相 (V·s/m) 抵抗、相相 (Ω) インダクタンス、相相 (mH)
A-322 XY平面スキャナー、エアベアリング-品番-A-322 Base 要見積もり 標準/標準 350; 500 350; 500 250 × 268 エアベアリング、真空プリロード付き アブソリュートリニアエンコーダ、BiSS-C、スチール測定ゲージ 1 15 ±0.15 ±0.35 1 2 10 5 5 1 10 ±30 14 ブリッジ軸の移動範囲に応じて:
350 mm: 40 kg
500 mm: 44 kg
1×ブリッジ、2×ガントリー軸 70/70 300/300 87/87 300/300 19.9/19.9 4.4/4.4 15/15 16/16 3.6/3.6 1.2/1.2

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移動範囲 mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

位置決め精度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10

双方向再現性 µm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5

真直度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300

平坦度 µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100

耐荷重 N

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100

センサー解像度 nm

0 - 1 1 - 10 10 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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