■概要・上操作型キネマティック式ミラーホルダは、キネマティック機構により、支点を基準としたあおり角度調整（βθ調整）を行う２軸調整ホルダです。
・あおり角度調整のツマミが製品の上方にあるため、周囲に光学素子やデバイスが近接する場合や、光路の中に手を入れて調整することが困難な場合に、好適に使用できます。
・内部構造では、板バネとコイルバネを併用することで安定性に優れています。
・素子の固定方法について、次の２つのタイプから選べます。
（ａ）ホルダーへ直接固定するタイプ（直接保持：MF11タイプ）
（ｂ）素子をケースに入れてホルダへ固定するタイプ（ケース保持：MF12タイプ）
・あおり角度の微動方式（微動調整のツマミ）は、マイクロメータヘッド と 微調ネジのタイプ（どちらもP=0.25mm）から選べます。
・ホルダには、φ12mm L＝60mmのポールを標準装備しています。
・ポールの長さは、L＝20～120mmで変更することが可能です。当社標準仕様であれば、価格の変更はありません。
・標準ポールタイプのほか、入射角度0°及び45°の据付型（光軸高50mm以上）も対応しております。
・本体両側面と底面にタップ穴があります（3×M6 中央、3×2-M3 ピッチ15）。これらを利用して、装置などに直接固定して組み込み使用することも可能です（内 1×M6はポールに取り付け）。
・材質　　：アルミニウム
・表面処理：黒アルマイト

■使い方（１）素子の固定方法
（ａ）ホルダへ直接固定するタイプ（直接保持：MF11タイプ）
・ミラー素子のほか、プレート型ビームスプリッタなどにも使用できます。
・素子はポリアセタール樹脂による３点支持（120°等配位置で支持）で固定します。
・素子の設置用スペースの下側にある２つの樹脂部品に、素子を乗せます。
・素子の固定は、ホルダ上側にあるM4トメネジ（先端樹脂付）にて、素子の上方側面から行います。
（ｂ）素子をケースに入れてホルダへ固定するタイプ（ケース保持：MF12タイプ）
・素子は、付属のネジリング・デルリンリングで固定します。
（２）あおり角度の調整
・あおり角度（βθ角度）の調整は、キネマティック機構により調整します。
　・β軸の調整ツマミ：左（写真中）
　・θ軸の調整ツマミ：右（写真中）
・β軸の調整ツマミを右に回すと、β角度は左回りに回転します。
（βはY軸を中心とする回転。”左回り”は、写真で、Y軸を右から左への方向に見るときの方向。）
・θ軸の調整ツマミを右に回すと、（上から見る視野で）円形素子は右回りに回転します。

■製品の固定例・ポールスタンド（PS1-3016）をM16 P1タップ穴（アルミ光学ベンチ用キャリア CA-60など）にネジ固定する。
・ポール（製品に付くφ12のポール）をPS1-3016に固定する。
・ポールの付いている箇所（底面部中央）はM6タップ穴となっております。このタップ穴を利用して、サイズの異なるポールを付けることもできます。
・据付型は、下部部品にある切欠穴にボルトを用いて固定できます。

■用途例・円形素子を固定し、2軸（あおり角度 βθ）の調整を行う用途。
・周囲に光学素子やデバイスが近接する場合や、光路の中に手を入れて調整することが困難な場合の用途。
・精密ステージほどの移動量を必要とせず、小スペースに円形素子を調整・設置する用途。

■製品の軸のとり方（6軸の説明）本製品のそれぞれの軸の定め方は以下の通りです（方向は写真内での説明）。
・Z軸方向：下から上の方向
・X軸方向：左奥から右手前への方向（光軸に平行）
・Y軸方向：右から左への方向（Z軸、X軸に垂直な方向）
・α軸　　：X軸を中心とする回転自由度を表現（ロール、チップ）
・β軸　　：Y軸を中心とする回転自由度を表現（ピッチ、チルト）
・θ軸　　：Z軸を中心とする回転自由度を表現（ヨー、パン）

型番
MF11-25.4M

シリーズ
光学ホルダ　上操作型キネマティック式ミラーホルダ

取扱企業
ツクモ工学株式会社

カテゴリ

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光学ホルダ　上操作型キネマティック式ミラーホルダ MF11-25.4Mの性能表

商品画像	価格 (税抜)	適応素子径	素子有効径	適応素子厚	あおり角度 β, θ	微動方式	素子固定方法	質量
	^¥30,000	φ25.4 mm	φ22.5 mm	3～6 mm	±2.5 °	マイクロメータヘッド	直接保持	0.24 kg

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使用用途

#表面形状測定 #振動解析 #変位計測 #厚み測定 #波面解析 #材料試験 #光学検査 #半導体製造 #マイクロマシニング #精密加工 #研究開発

測定方式

干渉型マイケルソン型

使用環境

空気中測定型真空中測定型高温測定型高精度基準型

測定対象

幾何形状測定型微細な変位測定型全面測定型

位置決め測定分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3

位置決め測定可能距離 m

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000

位置決め計測精度 ppm

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最大移動速度 m/s

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