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■特徴 バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出...
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高品質で信頼性の高い DC 電源 iPA プラットフォームは、優れたプロセスの一貫性と制御を実現し、幅広い用途における産業用真空プラズマ...
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■特徴 バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出...
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■特徴 バイポーラ電源は、同じコンデンサーに、プロセス中のチャンバー内の残留電流を蓄電し、更にアーク電流を最小に抑えて、外部へ出...
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■分光器の特徴 ・分光器チャンネル数:1 ~ 8 ・スペクトル範囲:200 ~ 1,100 nm ・スペクトル分解能:約1.5nm ・時間分解能:5μs ~ 10 ...
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EMICONの使用用途 ■トラブルシューティング 指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセス状態を把握出来ます。正常プロセス時の発...
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EMICONの使用用途 ■トラブルシューティング 指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセス状態を把握出来ます。正常プロセス時の発...
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原子、分子、イオンの約60万種類のデータベースから、各発光Lineに数秒で自動的に候補を表示します。又、各発光Lineに測定した発光強度...
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ご要求に応じる仕様。直接のバックプレート・ターゲットの冷却。 ■仕様と特徴 ・直接のターゲット冷却は、最大のパワー密度を可能とし...
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■概要 ・PC内臓 ・LAN,Profibus,Digital EMICONの使用用途 ■トラブルシューティング 指定した波長ピークの経時変化をモニタし、プロセ...
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