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プローバー
雄山株式会社
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再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。 ■特徴 Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様...
6種類の品番
雄山株式会社
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■特徴 OYMシリーズは、直感的に操作が可能なマニュアルのプロービングステーションです。実体や金属顕微鏡を搭載可能なプローバのライン...
2種類の品番
雄山株式会社
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脱酸素雰囲気での計測に対応したモデルです。 真空チャンバーの中を真空または不活性ガス雰囲気の状態にすることで脱酸素雰囲気で試料...
雄山株式会社
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グローブボックスなど外気を遮断した雰囲気中での使用に最適なプローバです。 試料台とポジショナはコンパクトな作業ベース上に配置し...
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■特徴 チップレベルからΦ50mmウェハにまで対応した、シンプルなA3サイズの小型マニュアルプローバです。スライド式のケースを閉めること...
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省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに優れたモデルです。 ■特徴 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、...
雄山株式会社
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極低温領域での計測に対応したモデルです。 冷凍方式は液体ヘリウム連続フロー型のため、冷凍機を用いた冷却方式に比べて機械的振動が...
雄山株式会社
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設置環境に影響されずに、1/f ノイズや微少電流の測定をサポートします。 独自のコンパクトなシールド構造により、パッケージ状態のデ...
雄山株式会社
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低温での計測に対応したモデルです。 冷凍部は可動部品が全くないパルス管冷凍機を使用していますので、低温で結露なく、低振動な計測...
雄山株式会社
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高温環境での計測に対応したモデルです。 真空チャンバーの中にヒーターユニットを持った試料台を設置し、チャンバー内を真空雰囲気に...
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