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項目別

排気時間 分

15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

ターボ分子ポンプ

操作方法

手動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200

チャンバーサイズ mm

200 - 250 250 - 300 300 - 350

使用用途

研究開発 多層膜 保護膜

三弘エマテックの蒸着装置

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4 点の製品

三弘エマテック株式会社

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応真空蒸着装置 SEC-22C

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■製品説明 蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しており、高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。蒸発速度の制御と膜厚の制御は...


三弘エマテック株式会社

光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリーズ

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■製品説明 高コストパフォーマンスのARコート専用のスタンダードマシンとなります。樹脂レンズへの成膜に最適です。RFイオンソース、光...


三弘エマテック株式会社

小型蒸着装置 VTR-060M/ERH

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■製品説明 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリー...


三弘エマテック株式会社

小型蒸着装置 VTR-350M/ERH

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■製品説明 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリー...


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