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多元同時電子ビーム蒸着装置E505はチタン、プラチナ、ニッケル、クローム、金、スズを含む金属や酸化物を、電子銃を用いて高性能に成膜...
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高真空蒸着装置RD-1230はぺロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置です。抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸...
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高真空蒸着装置RD-1250Rは高校・専門学校・大学校の真空工学教育用に開発された装置です。抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制...
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高真空蒸着装置ED-1250Rは小型蒸着装置の全機構搭載型装置です。研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機構2対・電子銃・基板回転...
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高真空蒸着装置RD-1300Rは小型蒸着装置の水晶振動式膜厚計搭載型抵抗加熱蒸着装置です。研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機...
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高真空蒸着装置RD-1300Rは小型蒸着装置の水晶振動式膜厚計搭載型抵抗加熱蒸着装置です。研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機...
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高真空蒸着装置RD-1300Rは歯学研究Au成膜専用の蒸着装置です。基板加熱はカートリッジヒーターによる基板直接加熱で、最高650℃まで加熱...
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高真空蒸着装置RD-1300は、Au、AuZnNi、AuGeNiをウエハ基板に成膜する為の装置です。メイン排気系はクライオポンプを採用し、蒸発源は抵...
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高真空蒸着装置RD-1300は小型蒸着装置の水晶振動式膜厚計搭載型抵抗加熱蒸着装置です。研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機構...
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高真空蒸着装置RD-1350は金属成膜用抵抗加熱式蒸着装置です。本装置はクリーンルーム設置用に開発された装置で、排気系はオイルフリー仕...
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高真空蒸着装置RD-1400Rは小型蒸着装置の水晶振動式膜厚計搭載型抵抗加熱蒸着装置です。研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機...
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高真空蒸着装置RD-1400は抵抗加熱1極4段式の蒸着装置です。本装置はSbの蒸着膜の成膜専用に開発された装置です。排気系は600L/secクラス...
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高真空蒸着装置RD-1400は小型蒸着装置の水晶振動式膜厚計搭載型抵抗加熱蒸着装置です。研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機構...
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高真空蒸着装置RD-1500は金属を成膜するための蒸着装置です。抵抗加熱電極が6対ありますので、多層膜や同時成膜が可能です。排気系動作...
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高真空蒸着装置ED-1500Rスタンダード型は抵抗加熱と電子銃を標準装備しております。有機物、金属、貴金属、酸化物の成膜も容易にできま...
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高真空蒸着装置ED-1500は水晶振動式膜厚計搭載型抵抗加熱蒸着装置です。将来的に3元用電子銃の増設が可能。研究機構向けに開発された本...
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高真空蒸着装置ED-1500は金属・誘導体・半導体等を成膜するための蒸着装置で、電子銃5kWのルツボ4ヶ搭載しております。基板ホルダーはリ...
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高真空蒸着装置ED-1500は金属・誘導体・半導体等を成膜するための蒸着装置です。電子銃10kWのルツボサイズが40mLと大きく、ルツボ点数も...
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高真空蒸着装置RD-1600は有機物専用蒸着装置で、有機セルを4ヶ搭載しております。また、2ヶ同時成膜も可能です。L/L室が付属されており...
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高真空蒸着装置ED-1600は抵抗加熱と電子銃を標準装備しております。金属、貴金属、酸化物の成膜も容易にできます。排気系の立ち上げ、立...
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