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#半導体電子部品
#分析実験室
#吸着搬送
#湿分蒸気対応
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#化学薬品対応
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動作原理
油回転型
ドライ型
構造形式
直結型
圧力領域
中真空用
冷却方式
水冷型
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
100 - 1,000
1,100 - 100,000
排気速度 L/min
0 - 100
100 - 500
500 - 5,000
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
モータ出力 kW
0 - 0.5
0.5 - 2
2 - 10
10 - 30
30 - 70
質量 kg
0 - 10
10 - 50
50 - 200
200 - 1,000
1,000 - 4,000
騒音値 dB(A)
45 - 50
50 - 55
55 - 60
60 - 65
65 - 70
70 - 75
75 - 80
80 - 85
電源電圧 V
150 - 250
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