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PHTの搬送装置5製品中の注目ランキング
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PHT株式会社
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次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このた...
PHT株式会社
190人以上が見ています
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本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13...
PHT株式会社
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■概要 高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動してい...
2種類の品番
PHT株式会社
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本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、ＦＯＵＰ・ＦＯＳＢキャ...
