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株式会社ジェイテクトマシンシステム
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生産ラインの3工程 (ラップ+片面研削+片面研削) を この1台が集約しました。 研削はウェーハ1枚ごとに両面同時研削、1枚ごとの研削...
株式会社ジェイテクトマシンシステム
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結晶方位の角度誤差を補正し、研削はウェーハ1枚ごとに研削可能です。 1枚ごとの研削データへ、トレーザビリティが可能で、ラップ盤から...