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ウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出することが可能で、半導体製造の歩留まり維持に欠かせない装置です。 ■特長 ・高感度測定⇒短波長レーザの採用によ...
入江株式会社
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ウェハー表面装置WM-10は90～65nmプロセスノードに最適、低価格で高性能 ■特長・用途 ・高出力Violet-LDの採用により、最高検出感度48nmを達成 90～65nmプロ...
