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XYスキャナレンジ µm
10 - 70 70 - 100分解能 nm
0 - 1 1 - 100振動ノイズ μm/s
0 - 1コンピュータソフト
C# LabView MatLab Visual Basic Windows 7以降 WindowsスクリプトインターフェイスXYステージ駆動範囲 mm
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日本カンタム・デザイン株式会社
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