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項目別

XYスキャナレンジ µm

10 - 70 70 - 100

分解能 nm

0 - 1 1 - 100

振動ノイズ μm/s

0 - 1

コンピュータソフト

C# LabView MatLab Visual Basic Windows 7以降 Windowsスクリプトインターフェイス

XYステージ駆動範囲 mm

0 - 20
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