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分解能 mm

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 1 1 - 10

測定精度 mm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5
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エーエルティーのレーザースキャナー

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LSU検査システム-エーエルティー株式会社

エーエルティー株式会社

LSU検査システム

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■特長 レーザスキャンユニットのジッタ、ウォブル、ビーム径、レーザパワーの検査装置


エーエルティー株式会社

光MEMS2次元スキャンユニット検査システム

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0.3時間 返答時間

■特長 スキャンデバイスの応用ユニットの検査システム、光MEMSミラー、ポリゴンミラー、ガルバノミラー、その他


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