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PHTの洗浄装置

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PHT株式会社

キャリア基板受入れ洗浄装置

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最新の閲覧: 21時間前

■製品特徴 次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています。...


PHT株式会社

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

1080人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。 洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40%を占める重要な工程です。高...


PHT株式会社

SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

1300人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

■装置開発背景 半導体用基板として最も多く使用されているのはSi基板 (シリコンウェーハ) である。近年では、パワー半導体用基板としてSiC基板 (シリコンカー...


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