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PHT株式会社
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半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。 洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占める重要な工程です。高...
PHT株式会社
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■装置開発背景 半導体用基板として最も多く使用されているのはSi基板 (シリコンウェーハ) である。近年では、パワー半導体用基板としてSiC基板 (シリコンカー...
