制御・計測・センシング
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#洗浄
#塩素注入
#半導体プロセス
#分注
駆動方式
モータ駆動型
電磁駆動型
空気駆動型
ポンプ機構
ダイヤフラム式
プランジャ式
制御方式
アナログ制御型
デジタル制御型
パルス制御型
接液部材質
PVC製
SUS製
PTFE製
最大吐出量 mL/min
0 - 20
20 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 10,000
10,000 - 60,000
最高吐出圧力 MPa
0 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 40
電源 V
90 - 100
100 - 200
200 - 250
消費電力 W
0 - 20
接続口径 mm
4 - 6
6 - 8
8 - 10
10 - 12
12 - 14
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14 点の製品
株式会社イワキ
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■強酸移送に最適 主材質にフッ素樹脂を採用した、強酸移送に最適なポンプです。ポンプヘッド部にフッ化ビニリデン樹脂 (PVDF) カーボン...
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■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、...
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■大幅な省レジスト 駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加して...
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■高出力・高精度・高制御性 高効率で制御性の高いブラシレスモータを採用。少流量 (7.5mL/h) から、同クラスで最大級 (当社調べ) となる...
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■分注性能の向上 吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー...
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■無脈動 ケミカルギヤポンプGM-J型は、バルブレス構造に加え、ポンプ室内のガスを起動と共に強制的に排出する自動ガス抜き回路を装備し...
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■水質コントローラを搭載 別置きのポンプコントローラを必要とせず、ポンプにダイレクトにセンサを接続することで、水質制御システムを...
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■特長 ・アンチガスロックポンプユニットESUシリーズは脈動流を正確に計測可能な電磁式流量センサとガスロックを解消する自動エアー抜き...
イワキの薬注ポンプ14製品中の注目ランキング
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