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ブルカージャパン株式会社
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■マスク向けCO₂精密ドライクリーニング装置 ・フォトマスク用リペア残渣やドライクリーニングによるパーティクル除去 ・マスク縦置きクリーニングによりパー...
ブルカージャパン株式会社
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■ウエハ向けCO2ドライクリーニング装置 ・ウェハ向けCO2精密ドライクリーニングによるパーティクル除去 ・最適化された独自ノズルの採用によりCO₂の流速、粒...
