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ブルカージャパンの半導体洗浄装置

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ブルカージャパン株式会社

フォトマスク CO₂ドライクリーニング装置 RAVE EL-C

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■マスク向けCO₂精密ドライクリーニング装置 ・フォトマスク用リペア残渣やドライクリーニングによるパーティクル除去 ・マスク縦置きク...


ブルカージャパン株式会社

ウェハドライクリーニング装置 WaferClean 2200

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■ウエハ向けCO2ドライクリーニング装置 ・ウェハ向けCO2精密ドライクリーニングによるパーティクル除去 ・最適化された独自ノズルの採用...




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