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装置寸法 mm
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500本体重量 kg
100 - 500電源 V
100 - 200 200 - 250使用用途
パーティクル除去 ウエットプロセス クリーン化管理3 点の製品がみつかりました
3 点の製品
ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には...
ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセ...
ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUVPODのための全自動洗浄装置 (特許取得済) です。InnerPOD、OuterPODの分解/再組立はもちろ...
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