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ヒューグルエレクトロニクスの半導体洗浄装置

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3 点の製品

ヒューグルエレクトロニクス株式会社

12インチ対応 洗浄装置 FOUP/FOSBフルオート洗浄システムUPC-12500 (SORA)

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最新の閲覧: 21時間前

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300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には...


ヒューグルエレクトロニクス株式会社

8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8

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本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセ...


ヒューグルエレクトロニクス株式会社

レチクル対応 洗浄装置 EUVPODフルオート洗浄システムSR-EUV (REN)

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最新の閲覧: 8時間前

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100.0% 返答率

43.7時間 返答時間

最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUVPODのための全自動洗浄装置 (特許取得済) です。InnerPOD、OuterPODの分解/再組立はもちろ...


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