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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現しております。 ■特徴...
4種類の品番
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 ベース架台内にターボ分子ポンプ、ドライ真空ポンプ、バルブ配管、電気系などの必要な機器をコンパクトに構成した高真空排気装置。半導体、分析、...
